簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "Choung-Lii Chao".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="氣液輔助化學機械拋光"


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    氣液輔助化學機械拋光應用於單晶碳化矽基板之平坦化製程分析研究
    • 機械工程系 /104/ 碩士
    • 研究生： 張士宸   指導教授： 陳炤彰
    • 單晶碳化矽基板(Silicon Carbide, SiC)，具有高崩潰電壓(High Breakdown Voltage)及低的阻抗, 因此在高功率元件市場的潛力無窮，但單晶碳化矽基板也因高硬度及高…
    • 點閱：474  下載：17 

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    富勒烯複合式拋光液於單晶碳化矽晶圓化學機械拋光之研究
    • 機械工程系 /108/ 碩士
    • 研究生： 華振廷   指導教授： 陳炤彰
    • 單晶碳化矽晶圓(Silicon Carbide, SiC)擁有高崩潰電壓、寬能隙及高熱傳導率之材料特性，因此像是電動車等高功率元件市場上有較大的需求，然而單晶碳化矽晶圓具有高硬度與高抗化學之材料性質…
    • 點閱：296  下載：3 
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